Doctorant en interactions laser-matériau

Le laboratoire LP3 est une unité mixte de recherche entre le CNRS et Aix-Marseille Univ. Ses activités de recherche sont axées sur l’interaction laser-matière dans des régimes temporels courts et ultracourts. Les études abordent les mécanismes fondamentaux en relation avec le développement de solutions innovantes de traitement laser.

Les siliciures de contact sont des éléments constitutifs essentiels des dispositifs microélectroniques car ils sont couramment utilisés pour établir des contacts électriques entre les transistors et les interconnexions en cuivre. Aujourd’hui, des couches de siliciures ultrafines (entre 10 et 20 nm) sont nécessaires et elles sont obtenues grâce à un processus de pré-amorphisation par implantation ionique (PAI) de surfaces de silicium avant le dépôt métallique réactif. Compte tenu de l’influence des propriétés de la couche amorphe sur la siliciuration, un meilleur contrôle du processus de pré-amorphisation est hautement souhaitable.
Dans le cadre d’un projet ANR multipartenaire, le doctorant étudiera expérimentalement des traitements laser pour l’avènement d’un procédé alternatif efficace qui promet de répondre aux exigences de cette application très exigeante. En particulier, l’amorphisation du silicium peut être obtenue par trempe ultrarapide suivant ultracourt (fs). Plusieurs questions importantes seront traitées pour identifier les meilleures conditions d’interaction pour la réponse des matériaux souhaitée et la précision optimale. En particulier, la dépendance à la longueur d’onde du laser (NIR-VIS-UV) et à la durée de l’impulsion sera étudiée de manière approfondie en ce qui concerne les limites de précision. Le doctorant travaillera également sur le développement de diagnostics optiques pour le suivi in ​​situ de la synthèse de couches amorphes ultrafines (typ. 50 nm et moins) et effectuera des démonstrations de processus PoC avant de contribuer à certaines démonstrations technologiques avec de fortes interactions avec le partenaire industriel pour cela. projet (ST Microélectronique).