PhD position – Etude et fiabilité d’une technologie de condensateur hybride

SL-DRT-20-1073

DOMAINE DE RECHERCHE

Matériaux et procédés émergents pour les nanotechnologies et la microélectronique

ABSTRAIT

Le but de cette thèse est d’optimiser / stabiliser le processus de production de capacités hybrides, présentant une combinaison de propriétés uniques en termes de densité d’énergie (densité de stockage ionique de l’ordre de 43mJ / mm3) et de réponse en fréquence (mode électrostatique démontré jusqu’à 30GHz , dans des structures nanoporeuses 3D disponibles en technologies 8 “). Les principaux goulots d’étranglement technologiques identifiés sont: – les étapes d’intégration de la structure hybride MIM (Metal Isolant Metal) déposée par ALD sur des wafers comprenant des nano-structures 3D à très grande surface développée, dont les opérations de lithographie liées, – modélisation électrique des propriétés des composants, en particulier dans les conditions d’utilisation pertinentes (signaux de courant / tension importants et couverture fréquentielle), – identification des modes de défaillance des composants,la définition et la démonstration de techniques d’accélération du vieillissement et l’extraction des modèles de durée de vie associés.

EMPLACEMENT

Département Composants Silicium (LETI)

Laboratoire Stockage et Microsources d Energie

Grenoble

CONTACT

OUKASSI Sami

CEA

DRT / DCOS // LSME

17 Av. des MartyrsGrenoble

Numéro de téléphone: 0438782924

Courriel: sami.oukassi@cea.fr

UNIVERSITÉ / ÉCOLE SUPÉRIEURE

Grenoble INP

IMEP2: Ingénierie – Matériaux – Environnement – Energétique – Procédés – Production

DATE DE DÉBUT

Date de début le 01-09-2020

SUPERVISEUR DE THÈSE

SYLVESTRE Alain

G2ELab Grenoble

UMR 5269

CNRS25, avenue des Martyrs38042 Grenoble

Numéro de téléphone: 06 66 89 96 93

Courriel: alain.sylvestre@grenoble.cnrs.fr